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 Growth of Aluminium Nitride Thin Film using Pulse-Modulated Rf Magnetron Sputtering Plasma 脉冲调制射频磁控溅射等离子体生长氮化铝薄膜
相关领域
材料科学
薄膜
溅射沉积
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氮化物
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氮化铝
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期刊：International Journal of Integrated Engineering 作者：Muliana Tahan; Nafarizal Nayan; Mohd Zainizan Sahdan; Anis Suhaili Bakri; Nur Amaliyana Raship; et al 出版日期：2020-03-12 |
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