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![]() 基于模拟退火的混沌增强自适应粒子群算法在数字光刻掩模优化中的应用
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材料科学
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期刊:Journal of vacuum science and technology 作者:Shengzhou Huang; Dongjie Wu; Yuanzhuo Tang; Bowen Ren; Jiani Pan; et al 出版日期:2025-01-01 |
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