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 Growth of dense, hard yet low-stress Ti0.40Al0.27W0.33N nanocomposite films with rotating substrate and no external substrate heating 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Zhengtao Wu; Olof Tengstrand; Babak Bakhit; Jun Lu; J. E. Greene; et al 出版日期：2020-01-27 |
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