High mobility and productivity of flexible In2O3 thin-film transistors on polyimide substrates via atmospheric pressure spatial atomic layer deposition

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标题	High mobility and productivity of flexible In2O3 thin-film transistors on polyimide substrates via atmospheric pressure spatial atomic layer deposition
网址	https://doi.org/10.2139/ssrn.4597097
DOI	10.1016/j.apsusc.2023.158950 doi
其它	期刊：Applications of Surface Science 作者：Kwang Su Yoo; Chi-Hoon Lee; Dong-Gyu Kim; Su-Hwan Choi; Won-Bum Lee; et al 出版日期：2023-11-01
求助人	zz 在 2026-10-21 03:59:00 发布自湖南，悬赏 10 积分
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