| 标题 |
[高分]
 Investigating Root Cause of a Bubble Formation in Spin on Hardmask |
| 备注 |
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| 网址 | |
| DOI |
10.31399/asm.cp.istfa2018p0153
doi
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| 其它 |
期刊：Proceedings 作者：Rebecca Dar; Jason Behnke; F.H. Baumann; T. Shepherd; Kok Hin Teo; et al 出版日期：2018-11-01 |
| 求助人 | |
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(2025-6-4)
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