EFFECT OF DEPOSITION PARAMETERS ON THE MICROSTRUCTURE AND BONDING PROPERTIES OF AlN FILMS PREPARED BY MAGNETRON SPUTTERING

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标题	EFFECT OF DEPOSITION PARAMETERS ON THE MICROSTRUCTURE AND BONDING PROPERTIES OF AlN FILMS PREPARED BY MAGNETRON SPUTTERING
网址	https://doi.org/10.13168/cs.2025.0033
DOI	10.13168/cs.2025.0033 doi
其它	期刊：Ceramics-Silikáty 作者：Y. Jiao 出版日期：2025-06-30
求助人	美好的访冬在 2026-10-20 13:41:52 发布自北京，悬赏 10 积分
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