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  Ferroelectric-like behavior in HfO2/Al2O3/AlN metal-insulator-semiconductor capacitor through AlN thermal stress AlN热应力对HfO2/Al2O3/AlN金属-绝缘体-半导体电容器的类铁电行为
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期刊：Materials Research Express 作者：Min Lu Kao; Yuan Lin; You Chen Weng; Chang Fu Dee; Edward Yi Chang; et al 出版日期：2022-10-01 |
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