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标题
Parasitic AlxOyNz surface defects on high-temperature annealed AlN and their role in hillock formation
高温退火AlN上的寄生AlxOyNz表面缺陷及其在小丘形成中的作用
相关领域
小丘 材料科学 金属有机气相外延 蓝宝石 退火（玻璃） 光电子学 位错 结晶度 外延 薄脆饼 再结晶（地质） 纳米技术 复合材料 光学 激光器 图层（电子） 生物 古生物学 物理
网址
https://doi.org/10.1063/5.0170006
AI链接 aip.org uni-goettingen.dedoi.org
DOI
10.1063/5.0170006 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Lukas Peters; Tobias Meyer; Christoph Margenfeld; Hendrik Spende; A. Waag
出版日期：2023-09-11
求助人
祈晨雨 在 2025-12-05 22:19:05 发布自四川，悬赏 10 积分
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