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标题
Effects of plasma oxidation and plasma nitridation on chemical bonding state of AlScN evaluated by AR-HAXPES
AR-HAXPES评价等离子体氧化和等离子体氮化对AlScN化学键态的影响
相关领域
等离子体 氧化态 化学状态 化学 X射线光电子能谱 材料科学 化学工程 物理 有机化学 核物理学 金属 工程类
网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/ad3925
DOI
10.35848/1347-4065/ad3925 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Tomoya Tsutsumi; Kazuki Goshima; Yoshiharu Kirihara; Tatsuki Okazaki; Akira Yasui; et al
出版日期：2024-03-29
求助人
志文 在 2025-12-22 22:00:52 发布自贵州，悬赏 10 积分
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