Plasma Etching of TiN and W Electrodes with High Etch Selectivity over HZO Thin Films

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标题	Plasma Etching of TiN and W Electrodes with High Etch Selectivity over HZO Thin Films
网址	https://www.x-mol.com/paper/2000862203415281664?adv
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	飘飘玲在 2026-01-13 17:10:54 发布自江西，悬赏 10 积分
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8个月前，求助关闭

飘飘玲 Lv6 求助人关闭了本次求助。

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8个月前

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