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Optimizing Repetition Rate and Fluence for Improved Groove Depth in Femtosecond Laser Processing of Silicon
相关领域
飞秒 通量 重复（修辞手法） 沟槽（工程） 硅 材料科学 光学 激光器 光电子学 物理 哲学 冶金 语言学
网址
https://doi.org/10.2139/ssrn.5345536
DOI
10.2139/ssrn.5345536 doi
其它 期刊：Social Science Research Network
作者：Siwei Zhang; Zhe Zhang; Yuhang Li; Shunshuo Cai; Kunpeng Zhang; et al
出版日期：2025-01-01
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