Optimizing Repetition Rate and Fluence for Improved Groove Depth in Femtosecond Laser Processing of Silicon

飞秒 通量 重复(修辞手法) 沟槽(工程) 材料科学 光学 激光器 光电子学 物理 语言学 哲学 冶金
作者
Siwei Zhang,Zhe Zhang,Yuhang Li,Shunshuo Cai,Kunpeng Zhang,Haiyan Shi,Misheng Liang,Rui You,Yiling Lian,Yu Hou,Zichen Zhang
出处
期刊:Social Science Research Network [RELX Group (Netherlands)]
标识
DOI:10.2139/ssrn.5345536
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