White spots reduction by ultimate proximity metal gettering at carbon complexes formed underneath contact area in CMOS image sensors

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标题	White spots reduction by ultimate proximity metal gettering at carbon complexes formed underneath contact area in CMOS image sensors
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/7569798/7573353/07573447...
DOI	10.1109/vlsit.2016.7573447 doi
其它	期刊：2016 IEEE Symposium on VLSI Technology 作者：Tadashi Yamaguchi; Tomohiro Yamashita; Takeshi Kamino; Yotaro Goto; Takashi Kuroi; Masazumi Matsuura 出版日期：2016-10-07
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