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 In-situ analysis of metal atom, metal ion and argon ion fluxes in industrial magnetron sputtering with Al, Cr and AlCr targets 相关领域
材料科学
氩
金属
溅射沉积
离子
分析化学（期刊）
腔磁控管
溅射
冶金
铜
水溶液中的金属离子
化学
无机化学
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期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Peter Klein; Jaroslav Hnilica; Mojmír Jílek; Mayur Khan; Anna Macková; Petr Vašina 出版日期：2026 |
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