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 Microwave enhanced atomic layer deposition (MW-ALD): Incorporating a microwave antenna into an ALD system and performing in situ direct microwave exposure during ALD 相关领域
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Benjamin Kupp; Jessica Haglund-Peterson; Shane M. W. Witsell; Mohammad Kamarehi; John F. Conley 出版日期：2025-09-01 |
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