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Design and Development of Sc0.2Al0.8N-Based Dual-Piezoelectric-Layer MEMS Hydrophone 相关领域
水听器
声学
灵敏度(控制系统)
微电子机械系统
声纳
材料科学
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航程(航空)
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压力传感器
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期刊:Micromachines 作者:Danfeng Cui; Xiaoya Duan; Ziyue Guan; Ningyuan Hu; Yikun Guo; et al 出版日期:2026-02-11 |
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