标题 |
Growth mechanism and characteristics of β-Ga2O3 heteroepitaxailly grown on sapphire by metalorganic chemical vapor deposition
金属有机化学气相沉积在蓝宝石表面外延β-Ga2O3的生长机理及特性
相关领域
金属有机气相外延
化学气相沉积
蓝宝石
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DOI |
10.1016/j.mtadv.2022.100320
doi
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其它 |
期刊:Materials Today Advances 作者:Ray–Hua Horng; Dong−Sing Wuu; Po−Liang Liu; Apoorva Sood; Fu-Gow Tarntair; et al 出版日期:2022-12-01 |
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