FEOL CMP modeling challenges and solution in 3D NAND - 科研通

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标题	FEOL CMP modeling challenges and solution in 3D NAND 3D NAND中的FEOL CMP建模挑战和解决方案相关领域化学机械平面化计算机科学平面度测试生产线后端与非门炸薯条根本原因实体造型抛光可靠性工程机械工程逻辑门工程类互连算法人工智能电信结晶学计算机网络化学
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2515167
DOI	10.1117/12.2515167 doi
求助人	生动青文在 2025-01-16 15:38:42 发布自北京，悬赏 20 积分
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