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 Influence of polishing on diamond epitaxial film using vacuum-ultraviolet assisted polishing 真空紫外辅助抛光对金刚石外延膜的影响
相关领域
抛光
钻石
材料科学
外延
真空紫外
紫外线
光电子学
光学
纳米技术
冶金
物理
图层（电子）
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期刊：Diamond and Related Materials 作者：Chiho Inada; Sho Toyama; Akio Sugamoto; Toshihiro Aono; A. Kubota; et al 出版日期：2024-12-01 |
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