Formation of interfacial dislocations in ion-implanted 4H-SiC epilayers annealed with a large temperature gradient

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标题	Formation of interfacial dislocations in ion-implanted 4H-SiC epilayers annealed with a large temperature gradient 大温度梯度退火离子注入4H-SiC外延层界面位错的形成相关领域材料科学离子退火（玻璃）温度梯度离子注入凝聚态物理复合材料化学物理量子力学有机化学
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/adba22
DOI	10.35848/1347-4065/adba22 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Jiaxu Gao; Xuan Zhang; Li Zhang; Lu Wang; Dan Fang; et al 出版日期：2025-02-25
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