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 Plasma-enhanced atomic layer deposition of titanium nitride for superconducting devices 超导器件用氮化钛的等离子体增强原子层沉积
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期刊：Applied Physics Letters 作者：John Femi‐Oyetoro; Sasha Sypkens; H. G. LeDuc; Matthew Dickie; Andrew D. Beyer; et al 出版日期：2024-08-05 |
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