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标题
Plasma-enhanced atomic layer deposition of titanium nitride for superconducting devices
超导器件用氮化钛的等离子体增强原子层沉积
相关领域
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网址
DOI
10.1063/5.0210190 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:John Femi‐Oyetoro; Sasha Sypkens; H. G. LeDuc; Matthew Dickie; Andrew D. Beyer; et al
出版日期:2024-08-05
求助人
路客 在 2025-07-03 10:36:26 发布,悬赏 10 积分
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