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标题
Ion kinetic energy- and ion flux-dependent mechanical properties and thermal stability of (Ti,Al)N thin films
（Ti，Al）N薄膜的离子动能和离子通量相关力学性能和热稳定性
相关领域
材料科学 高功率脉冲磁控溅射 离子 薄膜 动能 溅射 弹性模量 溅射沉积 分析化学（期刊） 复合材料 纳米技术 化学 色谱法 量子力学 物理 有机化学
网址
https://doi.org/10.1016/j.actamat.2023.118864
AI链接 kb.se diva-portal.org desy.de desy.dedoi.org
DOI
10.1016/j.actamat.2023.118864 doi
其它 期刊：Acta Materialia
作者：Soheil Karimi Aghda; Damian M. Holzapfel; Denis Mušić; Yeliz Unutulmazsoy; Stanislav Mráz; et al
出版日期：2023-03-22
求助人
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