p-type layer formation study for Ga2O3 by employing Ni ion implantation with two-step oxygen plasma and thermal annealing - 科研通

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标题	p-type layer formation study for Ga2O3 by employing Ni ion implantation with two-step oxygen plasma and thermal annealing
网址	https://doi.org/10.1063/5.0282789
DOI	10.1063/5.0282789 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Naohiro Shimizu; Arun Kumar Dhasiyan; Osamu Oda; Nobuyuki Ikarashi; Masaru Hori 出版日期：2025-08-11
求助人	林夕在 2026-08-21 16:58:47 发布自中国，悬赏 10 积分
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