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标题
Parallel Laser Micro/Nano‐Processing for Functional Device Fabrication
用于功能器件制造的并行激光微/纳米加工
相关领域
制作 无光罩微影 光刻 材料科学 纳米技术 平版印刷术 激光器 光掩模 微加工 蚀刻（微加工） 纳米- 光电子学 电子束光刻 光学 抵抗 物理 病理 复合材料 医学 替代医学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1002/lpor.201900062
DOI
10.1002/lpor.201900062 doi
其它 期刊：Laser & Photonics Review
作者：Yang Li; Minghui Hong
出版日期：2020-02-06
求助人
端庄的冰枫 在 2025-08-26 16:44:27 发布自上海，悬赏 10 积分
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