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Advancements and challenges in inverse lithography technology: a review of artificial intelligence-based approaches
逆光刻技术的进展与挑战：基于人工智能的方法综述
相关领域
计算机科学 深度学习 平版印刷术 人工智能 利用 卷积神经网络 生成语法 人工神经网络 新兴技术 材料科学 计算机安全 光电子学
网址
https://doi.org/10.1038/s41377-025-01923-w
AI链接 doi.org nih.govdoi.org
DOI
10.1038/s41377-025-01923-w doi
其它 期刊：Light Science & Applications
作者：Yifan Yang; Ke‐Xuan Liu; Yunhui Gao; Chen Wang; Liangcai Cao
出版日期：2025-07-24
求助人
花花猪1989 在 2025-07-28 12:25:17 发布自北京，悬赏 10 积分
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