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 Direct-simulation Monte Carlo modeling of reactor-scale gas-dynamic phenomena in a multiwafer atomic-layer deposition batch reactor 多晶片原子层沉积间歇式反应器中反应器尺度气体动力学现象的直接模拟蒙特卡罗模拟
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Sudharshanaraj Thiruppathiraj; Seon Young Ryu; Jiho Uh; Laxminarayan L. Raja 出版日期：2021-08-05 |
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