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标题
Ge/Si(001) Heteroepitaxial Layers Doped in the HW CVD Process by Impurity Evaporation from a Sublimating Ge Source
升华锗源杂质蒸发在HW CVD工艺中掺杂的Ge/Si(001)异质外延层
相关领域
兴奋剂 杂质 材料科学 蒸发 光电子学 过程(计算) 锗 纳米技术 硅 化学 计算机科学 物理 热力学 操作系统 有机化学
网址
DOI
10.1134/s1063782624040158 doi
其它 期刊:Semiconductors
作者:A. M. Titova; В. Г. Шенгуров; С. А. Денисов; V. Yu. Chalkov; А. В. Зайцев; et al
出版日期:2024-04-01
求助人
zywzyw 在 2025-08-28 22:23:14 发布自江西,悬赏 10 积分
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