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  Oxidation resistance of Ru-capped EUV multilayers 钌封端EUV多层膜的抗氧化性
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：S. Bajt; Z. R. Dai; Erik J. Nelson; M. A. Wall; Jennifer Alameda; et al 出版日期：2005-05-06 |
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