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Plasma nitridation optimization for sub-15 A gate dielectrics
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作者：F.N. Cubaynes; Jurriaan Schmitz; C. van der Marel; J. H. M. Snijders; A. Veloso; et al
出版日期：2003-05-01
求助人
hh 在 2025-10-29 20:37:23 发布自北京，悬赏 10 积分
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