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 Room-temperature atomic layer deposition of iron oxide using plasma excited humidified argon 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Kazuki Yoshida; Issei Nagata; Kentaro Saito; Masanori Miura; Kensaku Kanomata; et al 出版日期：2022-02-25 |
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