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 Modeling and application of Czochralski silicon single crystal growth process using hybrid model of data-driven and mechanism-based methodologies 基于数据驱动和基于机理的混合模型的直拉硅单晶生长过程建模与应用
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期刊：Journal of Process Control 作者：Jun-Chao Ren; Ding Liu; Yin Wan 出版日期：2021-06-25 |
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