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Analysis and Design of Fiber Microprobe Displacement Sensors Including Collimated Type and Convergent Type for Ultra-Precision Displacement Measurement 超精密位移测量用准直型和会聚型光纤微探针位移传感器的分析与设计
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期刊:Micromachines 作者:Yisi Dong; Jinran Zhang; Chen Zhang; Haijin Fu; Wenwen Li; et al 出版日期:2024-01-31 |
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