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标题
Effect of Pulse Shape on Reactive Sputtering Process and Film Properties: Comparison Between Sine-Wave, Square-Wave and Dynamic Reverse Pulsing Modes
网址
https://doi.org/10.14332/svc24.proc.0024
DOI
10.14332/svc24.proc.0024 doi
其它 期刊：Annual Technical Conference Proceedings
作者：Gayatri Rane
出版日期：2024-12-17
求助人
yy 在 2026-08-21 17:23:44 发布自江苏，悬赏 20 积分
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