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Nitrogen-enabled amorphous stabilization of high-mobility in-rich IGO via PEALD for uniform and reliable oxide TFTs
相关领域
材料科学 无定形固体 光电子学 氧化物 薄膜晶体管 噪音(视频) 工作(物理) 氧化物薄膜晶体管 纳米技术 冶金
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DOI
10.1016/j.mtelec.2026.100215 doi
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cyy 在 2026-08-10 08:10:12 发布自广东,悬赏 10 积分
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