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标题
Study of the Influence of Mo–Si Structural Parameters on the Optical Properties of Masking Coatings for Photomasks
网址
http://dx.doi.org/10.1134/s106373972560133x
DOI
10.1134/s106373972560133x doi
其它 期刊：Russian Microelectronics
作者：N. V. Krokhan; R. A. Sharipov; A. I. Novoseltsev; O. V. Novikova; V. I. Shevyakov; et al
出版日期：2025-12-01
求助人
gg 在 2026-08-09 22:56:21 发布自湖南，悬赏 10 积分
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