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 Optoelectronic performance enhancement of 1–5 μ m InGaN-based micro-LEDs using chemical etching coupled with dielectric passivation 相关领域
钝化
光电子学
材料科学
电介质
各向同性腐蚀
量子效率
蚀刻（微加工）
二极管
化学机械平面化
发光二极管
宽禁带半导体
自发辐射
无辐射复合
量子点
载流子寿命
干法蚀刻
电流密度
量子阱
辐射传输
反应离子刻蚀
纳米技术
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Qin Wang; Jinyu Zhang; Guojian Ding; Yang Wang; Zhen Deng; et al 出版日期：2026-08-10 |
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