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Data-driven plasma science based plasma etching process design in OLED mass production referring to PI-VM |
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期刊:Plasma Physics and Controlled Fusion 作者:Seolhye Park; Jaegu Seong; Yoona Park; Yeongil Noh; Haneul Lee; et al 出版日期:2024-01-04 |
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(2025-6-4)