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标题
Compact vacuum setup for laser induced plasma etching with optical emission spectrum monitoring
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004296
DOI
10.1116/6.0004296 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science and technology
作者：Lukáš Šilhan; Jon Ander Arregi; Tomáš Plichta; Ondřej Vaculík; Jan Novotný; et al
出版日期：2025-04-18
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陶醉问凝 在 2026-07-03 15:52:04 发布自北京，悬赏 10 积分
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