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标题
Carrier phase distribution based scan step noise correction for white light interferometry topography measurements
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.optlaseng.2023.107730
DOI
10.1016/j.optlaseng.2023.107730 doi
其它 期刊：Optics and Lasers in Engineering
作者：Long Ma; Fengyu Yang; Yuan Zhao; Xin Pei; Xutao Yin
出版日期：2023-10-01
求助人
楼下太吵了 在 2026-08-27 13:04:24 发布自中国，悬赏 10 积分
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