Design of a long working distance, large aperture microscope objective for semiconductor precision inspection

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标题	Design of a long working distance, large aperture microscope objective for semiconductor precision inspection 相关领域光学显微镜材料科学光圈（计算机存储器）光学显微镜半导体显微镜半导体激光器理论激光束折射率计量学图像处理空间频率激光器图像质量摄影术杂散光光电子学材料加工物理
网址	https://doi.org/10.1364/ao.584862 AI链接 nih.govdoi.org
DOI	10.1364/ao.584862 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Zhenyu Chen; Zhengyu Lin; Zhang Jiyan; Muwang Huang; Tianhao Cao; et al 出版日期：2026-03-05
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