Hydrogenation of polysilicon thin-film transistor in a planar inductive H/sub 2//Ar discharge

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标题	Hydrogenation of polysilicon thin-film transistor in a planar inductive H/sub 2//Ar discharge
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx4/55/16464/00761021.pdf?ar...
DOI	10.1109/55.761021 doi
其它	期刊：IEEE Electron Device Letters 作者： Ching-Fa Yeh; Tai-Ju Chen; Chung Liu; J.T. Gudmundsson; M.A. Lieberman 出版日期：2002-08-25
求助人	泛舟在 2026-03-05 17:20:13 发布自广东，悬赏 10 积分
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