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标题
Hydrogenation of polysilicon thin-film transistor in a planar inductive H/sub 2//Ar discharge
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DOI
10.1109/55.761021 doi
其它 期刊:IEEE Electron Device Letters
作者: Ching-Fa Yeh; Tai-Ju Chen; Chung Liu; J.T. Gudmundsson; M.A. Lieberman
出版日期:2002-08-25
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泛舟 在 2026-03-05 17:20:13 发布自广东,悬赏 10 积分
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