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Line-edge roughness increase due to wiggling enhanced by initial pattern waviness 相关领域
波纹度
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期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:Naoyuki Kofuji; Nobuyuki Negishi; Hiroaki Ishimura; Toshiaki Nishida; Hitoshi Kobayashi 出版日期:2014-03-01 |
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