Effects of substrate pretreatment and annealing processes on AlN thin films prepared by EVPE

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标题	Effects of substrate pretreatment and annealing processes on AlN thin films prepared by EVPE
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S136980012...
DOI	10.1016/j.mssp.2022.106975 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Luxiao Xie; Hui Zhang; Xinjian Xie; Endong Wang; Xiangyu Lin; et al 出版日期：2022-07-16
求助人	uss 在 2026-03-12 02:00:39 发布自德国，悬赏 10 积分
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