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Impact of plasma reactive ion etching on low dielectric constant porous organosilicate films' microstructure and chemical composition
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DOI
10.1016/j.micromeso.2016.04.004 doi
其它 期刊:Microporous and Mesoporous Materials
作者:Matthieu Lépinay; Daniel J. Lee; Riccardo Scarazzini; Michel Bardet; Marc Veillerot; et al
出版日期:2016-07-01
求助人
iiianchen 在 2023-05-31 21:29:59 发布自江苏,悬赏 10 积分
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