Smart gas dosage by a peristaltic pump for reactive RF sputtering of composition spread combinatorial hafnium-oxy-nitride layers

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标题	Smart gas dosage by a peristaltic pump for reactive RF sputtering of composition spread combinatorial hafnium-oxy-nitride layers 相关领域铪溅射蠕动泵氮化物蠕动化学作文（语言）分析化学（期刊）材料科学色谱法纳米技术无机化学薄膜物理有机化学锆热力学图层（电子）哲学生物化学语言学
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2020.109675
DOI	10.1016/j.vacuum.2020.109675 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：György Sáfrán; Noémi Szász; Gergely Dobrik; Benjámin Kalas; Miklós Serényi 出版日期：2020-08-06
求助人	粉蒸肉在 2025-11-12 17:02:51 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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