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 Deposition Mechanism and Photodetector Application of Plasma-Enhanced Atomic Layer-Deposited Ta2O5 Films at various Deposition Temperatures 不同沉积温度下等离子体增强原子层沉积Ta2O5薄膜的沉积机理及光电探测器应用
相关领域
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期刊：Ceramics International 作者：Chen Wang; Chenhao Zhou; Jian-Gui Wang; Yun-Shao Cho; Wan-Yu Wu; et al 出版日期：2025-04-01 |
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