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Deposition mechanism and photodetector application of plasma-enhanced atomic layer-deposited Ta2O5 films at various deposition temperatures

材料科学 原子层沉积 沉积（地质） 图层（电子） 等离子体 光电探测器 机制（生物学） 光电子学 化学工程 纳米技术 量子力学 生物 认识论 物理 工程类 哲学 古生物学 沉积物
作者
Chen Wang,Chenhao Zhou,Jian-Gui Wang,Yun-Shao Cho,Wan-Yu Wu,Dong‐Sing Wuu,Chien Jung Huang,Shui‐Yang Lien
出处
期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2025-04-10 卷期号：51 (19): 28791-28801 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2025.04.088
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