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Deposition Mechanism and Photodetector Application of Plasma-Enhanced Atomic Layer-Deposited Ta2O5 Films at various Deposition Temperatures

材料科学 原子层沉积 沉积（地质） 图层（电子） 等离子体 光电探测器 机制（生物学） 光电子学 化学工程 纳米技术 古生物学 哲学 物理 认识论 量子力学 沉积物 工程类 生物
作者
Chen Wang,Chenhao Zhou,Jian-Gui Wang,Yun-Shao Cho,Wan-Yu Wu,Dong‐Sing Wuu,Chien Jung Huang,Shui‐Yang Lien
出处
期刊：Ceramics International [Elsevier BV]
日期：2025-04-01
标识
DOI：10.1016/j.ceramint.2025.04.088
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