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标题
High mobility SiMOSFETs fabricated in a full 300 mm CMOS process
采用全300 mm CMOS工艺制造的高迁移率SIMOSFET
相关领域
CMOS芯片 材料科学 光电子学 接口(物质) 质量(理念) 半导体 过程(计算) 量子点 电子迁移率 量子 氧化物 纳米技术 工程物理 计算机科学 物理 复合材料 冶金 毛细管数 量子力学 毛细管作用 操作系统
网址
DOI
10.1088/2633-4356/ac40f4 doi
其它 期刊:Materials for Quantum Technology
作者:Timothy N. Camenzind; Ahmed Elsayed; Fahd A. Mohiyaddin; RUYUE LI; Stefan Kubicek; et al
出版日期:2021-12-01
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