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 Attention-enhanced conditional variational autoencoder integrating 3D plasma etching simulation for etching process optimization 集成三维等离子体刻蚀模拟的注意力增强条件变分自动编码器用于刻蚀工艺优化
相关领域
自编码
蚀刻（微加工）
等离子体
过程（计算）
等离子体刻蚀
材料科学
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：J. D. Guo; Kun Ren; Dong Ni; Dawei Gao 出版日期：2025-02-07 |
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