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[高分] 2D and 1D modeling of AMT barrel reactors for silicon deposition
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DOI
10.1051/jp4:1999834 doi
其它 期刊:Journal de Physique IV (Proceedings)
作者:Maurizio Masi; Carlo Cavallotti; Sergio Carrà; Danilo Crippa; G. Vaccari
出版日期:1999-09-01
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蒙杜木古 在 2025-10-13 16:12:31 发布自青海,悬赏 50 积分
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